1、進入潔凈室之前，預先清潔儀器、人員以及零件;

2、用可控的多級壓力、溫度和濕度控制裝置密封建筑;

3、HEPA過濾;

4、增強工藝以減少顆粒/沉淀物的產生;

5、保護性外衣;

6、清潔;

7、雙門配置將相鄰的空間分開，包括運送和接收區域。

在將關鍵空間設計為分級的潔凈室是合理的。

矢量潔凈室：在房間的側上角送風，采用扇形過濾器，也可以用普通過濾器配扇形送風口，在另一側的下部設回風口，房間的高長比一般在0.5~1之間為宜。這種潔凈室也可以達到5級（100級）潔凈度。

有足夠的風量，既為了稀釋空氣的含塵濃度，又保證有穩定的氣流流型。

不同等級的潔凈室、潔凈室與非潔凈室或潔凈室與室外之間均應保持一定的正壓值。

當產品要求潔凈度為100級時，選用層流流型；當產品要求潔凈度為1000~100000級時，選用亂流流型。

減少渦流，避免把工作區以外的污染物帶入工作區。

為了防止灰塵的二次飛揚，氣流速度不能過大。亂流潔凈室的回風口不應設在工作區的上部。宜在地板上或側墻下部均勻布置回風口。